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J-GLOBAL ID：200903016056294324

潜伏性酸供与体としてのヨードニウム塩

Inventor：
ラインハルト シュルツ

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ジャン-リュク ビルボーム

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ジャン-ピエール ヴォルフ

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シュテファン イルク

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山戸 斉

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朝倉 敏景

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Applicant, Patent owner：
チバ スペシャルティ ケミカルズ ホールディング インコーポレーテッド

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Agent (1)： 津国 肇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000385247
Publication number (International publication number)：2001181221
Application date： Dec. 19, 2000
Publication date： Jul. 03, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高感度、良好な貯蔵安定性、良好な溶解度と結晶化しにくさの間の最適な均衡を有する放射線感受性組成物を提供する。【解決手段】 (a1)カチオン若しくは酸触媒により重合可能若しくは架橋可能な化合物、又は(a2)酸の作用下で現像液におけるその溶解度を上昇させる化合物;及び(b)式(I)【化20】〔式中、Xは、分岐C3-C20アルキルなど;X1は、水素など;Yは、直鎖C1-C10アルキルなど;A-は、基:(BF4)-などの非求核性アニオンである〕で示される少なくとも1つのジアリールヨードニウム塩を含む放射線感受性組成物。
Claim (excerpt)：
(a1)カチオン若しくは酸触媒により重合可能若しくは架橋可能な化合物、又は(a2)酸の作用下で現像液におけるその溶解度を上昇させる化合物;及び(b)式(I):【化1】〔式中、Xは、分岐C3-C20アルキル又はC3-C8シクロアルキルであり;X1は、水素、直鎖C1-C20アルキル、分岐C3-C20アルキル又はC3-C8シクロアルキルであるが、ただし、X及びX1中の炭素原子の合計は、少なくとも4であり;Yは、直鎖C1-C10アルキル、分岐C3-C10アルキル又はC3-C8シクロアルキルであり;A-は、基:(BF4)-、(SbF6)-、(PF6)-、(B(C6F5)4)-、C1-C20アルキルスルホナート、C2-C20ハロアルキルスルホナート、非置換C6-C10アリールスルホナート、ショウノウスルホナート、C1-C20-ペルフルオロアルキルスルホニルメチド、C1-C20-ペルフルオロアルキルスルホニルイミド、及びC6-C10アリールスルホナート(ハロゲン、NO2、C1-C12アルキル、C1-C12ハロ-アルキル、C1-C12アルコキシ又はCOOR1により置換されている)から選択される、非求核性アニオンであり;そしてR1は、C1-C20アルキル、フェニル、ベンジル;又はC1-C12アルキル、C1-C12アルコキシ若しくはハロゲンによりモノ-若しくはポリ-置換されているフェニルである(ただし、ヨウ素原子上の2つのフェニル環は、全く同じに置換されてはいない)〕で示される少なくとも1つのジアリールヨードニウム塩を含む放射線感受性組成物。
IPC (3)：
C07C 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/029
FI (3)：
C07C 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/029
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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