ポジ型感光性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994160143
Publication number (International publication number)：1996029982
Application date： Jul. 12, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】高感度、高解像力、及び良好なプロフアイルを持ち、経時による析出のない、3成分系化学増幅型のポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 (a)式(I)で示される構造単位と、式(II)で示される構造単位を含む、水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物等からなる群から選ばれた少なくとも1種である。

Claim (excerpt)：

(a)式(I)で示される構造単位と、式(II)で示される構造単位を含む、水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び(ii)第3級アルキルエステル基を少なくとも3個有し、該エステル基間の距離が最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、からなる群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R01:水素原子もしくはメチル基、R02、R03:それぞれ同一でも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、ヒドロキシ基、シアノ基、ニトロ基もしくはハロゲン原子、R04:置換基を有していてもよいアルキル基もしくは置換基を有していてもよいアシル基、m,n:それぞれ0もしくは1〜3の整数、を表す。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/00 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-305929 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-286045 Applicant：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-253523 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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