微小機械回転速度センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中平治
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009503398
Publication number (International publication number)：2009529697
Application date： Mar. 12, 2007
Publication date： Aug. 20, 2009
Summary：

本発明は、微小機械回転速度センサであって、基板(9)、少なくとも1つのばね素子(11,11’)により基板(9)に懸架されかつ少なくとも1つの地震質量(3)を含む基礎素子(1)、励振手段(6)及び読取り装置(15)を持っているものに関する。本発明によれば、ばね素子(11,11’)が基礎素子(1)の運動方向に対して運動可能である。【選択図】図9

Claim (excerpt)：

微小機械回転速度センサであって、基板(9)、少なくとも1つのばね素子(11,11’)により基板(9)に懸架されかつ少なくとも1つの地震質量(3)を含む基礎素子(1)、励振手段(6)及び読取り装置(15)を持っているものにおいて、ばね素子(11,11’)が基礎素子(1)の運動方向に対して直角に運動可能であることを特徴とする、電気機械回転速度センサ。

IPC (3)：

G01C 19/56 , B81B 3/00 , G01P 9/04

FI (3)：

G01C19/56 , B81B3/00 , G01P9/04

F-Term (14)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA08 , 2F105CC04 , 2F105CC11 , 2F105CD01 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 3C081AA01 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA47 , 3C081BA48 , 3C081EA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-340439 Applicant：株式会社村田製作所
複合センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-159047 Applicant：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
物理量検出センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-128254 Applicant：ミツミ電機株式会社

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