物理量検出センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：朝比一夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998128254
Publication number (International publication number)：1999304834
Application date： Apr. 22, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】簡易な構成で、3軸方向の加速度および3軸回りの角速度のうちの少なくとも2つを検出することができる物理量検出センサを提供すること。【解決手段】物理量検出センサ1Aは、基板上に設置された素子3を有している。素子3は、平面視で四角形をなす質量部31と、その4つの角部に設けられた支持部材32とを備えている。各支持部材32は、L字状に屈曲した棒状をなし、その末端部は、それぞれ基板2上に設けられた4つの固定部33に固定されている。各支持部材32は、弾性変形可能であり、これにより、基板2に対し質量部31をX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向にそれぞれ独立して変位させることができる。質量部31は、駆動電極41によりX方向に加振され、Y軸方向検出電極42とZ軸方向検出電極とにより、Y軸回りの角速度および加速度と、Z軸回りの角速度および加速度の計4種の物理量を検出することができる。

Claim (excerpt)：

加速度および/または角速度を検出する物理量検出センサであって、質量部と、該質量部を三次元方向に変位可能に支持する支持部材とを備えていることを特徴とする物理量検出センサ。

IPC (4)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01L 5/16 , G01P 9/04

FI (4)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01L 5/16 , G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

複合センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-159047 Applicant：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
多軸加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-273755 Applicant：株式会社ゼクセル
半導体加速度センサ及びその製造方法、ならびに当該半導体加速度センサによる加速度検出方式
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-342592 Applicant：オムロン株式会社

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