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J-GLOBAL ID：200903016306773800

ガラス板の欠点検査方法及びその装置

Inventor：
谷 秀人

About 谷 秀人


Applicant, Patent owner：
旭硝子株式会社

About 旭硝子株式会社


Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004211605
Publication number (International publication number)：2006030067
Application date： Jul. 20, 2004
Publication date： Feb. 02, 2006
Summary：
【課題】本発明は、反射散乱光による撮像で検出でき、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができるガラス板の欠点検査方法及びその装置を提供することを目的とする。【解決手段】実施の形態の欠点検査装置10は、ガラス基板12の上面12Bで反射した赤色の反射散乱光、ガラス基板12の下面12Cで反射した青色の反射散乱光、及びガラス基板12の端面12Aで反射した緑色の反射散乱光に基づいて欠点を検査する。すなわち、本発明は、Bバンドカットフィルタ28、Rバンドカットフィルタ30によって透過散乱光をカットして欠点の検査を実施するため、反射散乱光による撮像では検出できるが、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射してガラス板の欠点検査を行う欠点検査方法であって、 前記ガラス板の一方面を、第1のプリズムと少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、第2のプリズムと少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して前記撮像手段により撮像し、 前記撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出することを特徴とするガラス板の欠点検査方法。
IPC (1)：
G01N 21/896
FI (1)：
G01N21/896
F-Term (8)：
2G051AA42 ,  2G051AB08 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 欠点検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-249772   Applicant：旭硝子株式会社
Cited by examiner (7)
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