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J-GLOBAL ID:200903016446692681

光表面特性の測角検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005206140
Publication number (International publication number):2006030204
Application date: Jul. 14, 2005
Publication date: Feb. 02, 2006
Summary:
【課題】 一方で、例えば僅かに異なる立体角で塗装部の種々に眺めることによって生じるそのような変化を分離することができるが、他方で、互いに著しく異なっている角度での観察も実施できるようにすることにある。【解決手段】 本発明による光表面特性を検査する装置は、少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、前記表面に照射し、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置とを備えている。前記検出装置は輻射の位置分解された検出を行うことができ、前記表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されている。その場合、前記照射装置および/または前記検出装置を配置する少なくとも一つの立体角が可変できるようになっている。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、 前記表面に照射し、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置と、を備え、その場合、前記検出装置が輻射の位置分解された検出を行うことができ、前記表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されていて、 前記照射装置および/または前記検出装置を配置する少なくとも一つの立体角が可変できるようになっている、 ことを特徴とする光表面特性を検査する装置。
IPC (3):
G01N 21/27 ,  G01J 3/46 ,  G01N 21/57
FI (3):
G01N21/27 B ,  G01J3/46 Z ,  G01N21/57
F-Term (19):
2G020AA08 ,  2G020DA02 ,  2G020DA06 ,  2G020DA22 ,  2G020DA31 ,  2G020DA45 ,  2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG10 ,  2G059HH02 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059KK10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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