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J-GLOBAL ID：200903079681584057

反射率測定装置

Inventor：
林 祐三

About 林 祐三


Applicant, Patent owner：
アルプス電気株式会社

About アルプス電気株式会社


Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002340787
Publication number (International publication number)：2004177162
Application date： Nov. 25, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：
【課題】光透過性を有する試料の表面の反射率を正確に測定することが可能な反射率測定装置を提供する。【解決手段】反射率測定装置10は、水平方向に移動可能なステージ11と、ステージ11上に設置され、上面に試料12が載置される防反射材13と、指向性の光を照射する光源14と、試料12からの反射光を受光するフォトセンサ15とを備えている。防反射材13は暗色の光拡散性シート、例えば、表面が粗面を成す黒色のシリコンゴムシートが用いられる。こうした防反射材13は試料12を透過した光源14からの光を吸収し、拡散させることによって、再び試料12に向けて光が反射することを防止する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
光透過性を有する試料の表面の反射率測定装置であって、試料に向けて光を照射する光源と、前記光源から照射された光が前記試料表面で反射された反射光を受光するセンサと、前記試料の下面側からの反射を低減する防反射手段とを備えたことを特徴とする反射率測定装置。
IPC (3)：
G01N21/47 ,  G01M11/00 ,  G01N21/01
FI (3)：
G01N21/47 Z ,  G01M11/00 T ,  G01N21/01 Z
F-Term (11)：
2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ25 ,  2G059JJ26 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059NN01 ,  2G086EE10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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