化学増幅型ネガ型レジスト組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：曾我道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996347975
Publication number (International publication number)：1998186660
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、化学増幅型ネガ型レジストについて、更に解像度を向上させると共に、プロファイル形状が優れ、且つ基板依存性の少ないものを提供することを目的としてなされたものである。【解決手段】本発明に係る化学増幅型ネガ型レジスト組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物及び(C)架橋剤を含有してなる化学増幅型ネガ型レジスト組成物において、該組成物が、(D)有機カルボン酸化合物及び(E)有機アミン化合物を含有してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物及び(C)架橋剤を含有してなる化学増幅型ネガ型レジスト組成物において、該組成物が、(D)有機カルボン酸化合物及び(E)有機アミン化合物を含有してなることを特徴とする化学増幅型ネガ型レジスト組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 601 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/038 601 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 503 Z , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

ネガ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-121049 Applicant：三菱化学株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-312669 Applicant：日本ゼオン株式会社
化学増幅型感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-046672 Applicant：日本合成ゴム株式会社

Show all

Return to Previous Page