ネガ型感光性組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994121049
Publication number (International publication number)：1995146556
Application date： Jun. 02, 1994
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤系、および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該架橋剤が高アルキル型のアルコキシメチルメラミン樹脂であり、かつアルコキシメチルメラミン樹脂のモノマー成分含有量が5〜40重量%であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】本発明のネガ型感光性組成物は、高解像力であり、かつ保存安定性も良好である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤系、および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該架橋剤が高アルキル型のアルコキシメチルメラミン樹脂であり、かつアルコキシメチルメラミン樹脂のモノマー成分含有量が5〜40重量%であることを特徴とするネガ型感光性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 , C08L 61/28 LNL , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-208302 Applicant：富士通株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-301054 Applicant：日本ゼオン株式会社
特開平2-052348

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