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J-GLOBAL ID：200903018710842215

感放射線性塗布組成物

Inventor： 西 峰雄 ,  中野 浩二 ,  楠本 匡 ,  河瀬 康弘
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995092612
Publication number (International publication number)：1996286365
Application date： Apr. 18, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 溶解性及び塗布性が良好で、露光時の発泡が起こりにくい感放射線性塗布組成物を提供する。【構成】 ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒を含有する感放射線性塗布組成物において、溶媒として?@下記一般式で表わされる化合物及び?Aγ-ブチロラクトン及び/又はピルビン酸アルキルエステルを含有する溶媒を用いることを特徴とする感放射線性塗布組成物。【化1】(式中、R1 、R2 及びR3 はハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表し、相互に同じでも異なっていても良い。R4 は水素原子、ハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表す。)

Claim (excerpt)：

ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒を含有する感放射線性塗布組成物において、溶媒として?@下記一般式で表わされる化合物及び?Aγ-ブチロラクトン及び/又はピルビン酸アルキルエステルを含有する溶媒を用いることを特徴とする感放射線性塗布組成物。【化1】(式中、R1 ,R2 及びR3 はハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表し、相互に同じでも異なっていても良い。R4 は水素原子、ハロゲン原子で置換されていても良いメチル基又はエチル基を表す。)

IPC (3)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• レジスト塗布組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-059928   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-268112   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 化学増幅型感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-046672   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-270332   Applicant：日本合成ゴム株式会社