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J-GLOBAL ID：200903018864895443

ZnO焼結体およびその製造方法

Inventor：
粟井 清

About 粟井 清

, 
酒見 俊之

About 酒見 俊之

, 
赤尾 平八

About 赤尾 平八


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (2)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004305946
Publication number (International publication number)：2006117462
Application date： Oct. 20, 2004
Publication date： May. 11, 2006
Summary：
【課題】 透明電極として優れた性質を有するZnO膜をイオンプレーティングで成膜する技術を提供する。【解決手段】 イオンプレーティングのソース材料として用いるのに適したZnO焼結体は、平均酸化度の異なる第1のZnO領域と第2のZnO領域とを含み、前記第1のZnO領域と前記第2のZnO領域とは平均粒径が異なる。前記第1のZnO領域は前記第2のZnO領域より酸化度の高い領域であり、前記第2のZnO領域は前記第1のZnO領域と異なる色の、青みを帯びた領域であることが好ましい。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
平均酸化度の異なる第1のZnO領域と第2のZnO領域とを含み、前記第1のZnO領域と前記第2のZnO領域とは平均粒径が異なる、ZnO焼結体。
IPC (7)：
C04B 35/453 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/24 ,  H01B 13/00 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/28
FI (7)：
C04B35/00 P ,  C23C14/08 C ,  C23C14/24 E ,  H01B13/00 503B ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/28
F-Term (33)：
3K007CB01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA04 ,  4G030CA07 ,  4G030GA11 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DD05 ,  4K029EA04 ,  5G301CA02 ,  5G301CA27 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC03 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)
  • ZnO系焼結体の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-110362   Applicant：住友金属鉱山株式会社
  • 透明導電膜の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-083983   Applicant：スタンレー電気株式会社

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