酸化亜鉛薄膜およびその成膜方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002233563
Publication number (International publication number)：2004076025
Application date： Aug. 09, 2002
Publication date： Mar. 11, 2004
Summary：

【課題】良好な結晶性を有する膜を高い成膜速度で大面積に成膜することができる酸化亜鉛薄膜の成膜方法およびこの方法により成膜した酸化亜鉛薄膜を提供する。【解決手段】成膜室中に陽極として配置されたハースに装填された酸化亜鉛を主成分とする蒸着材料に向けてアーク放電による高密度プラズマビームを供給して蒸着物質を蒸発させてイオン化し、蒸着材料と対向して配置された基板の表面に蒸着物質を付着させて薄膜を得る。このとき、ハースの周囲に配した磁場制御部材によりハースに近接した上方の磁界を制御し、また、ハースが真空容器に対して+30〜+60Vの電位となるように電圧を印加する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

イオンプレーティング法による酸化亜鉛薄膜の成膜方法であって、成膜室中に陽極として配置されたハースに酸化亜鉛を主成分とする蒸着材料を配置し、該ハースの周囲に配した磁場制御部材により該ハースに近接した上方の磁界を制御し、該蒸着材料に向けてアーク放電による高密度プラズマビームを供給して蒸着物質を蒸発させてイオン化し、該蒸着材料と対向して配置された基板の表面に該蒸着物質を付着させ薄膜を得ることを特徴とする酸化亜鉛薄膜の成膜方法。

IPC (2)：

C23C14/08 , C23C14/32

FI (2)：

C23C14/08 C , C23C14/32 A

F-Term (8)：

4K029BA43 , 4K029BA49 , 4K029CA03 , 4K029DB01 , 4K029DB05 , 4K029DD00 , 4K029DD05 , 4K029DD06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

成膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-323329 Applicant：住友重機械工業株式会社
透明導電膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-083983 Applicant：スタンレー電気株式会社
成膜方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-008806 Applicant：住友重機械工業株式会社

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