振動体装置及びその作動方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：逢坂宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999124407
Publication number (International publication number)：2000314846
Application date： Apr. 30, 1999
Publication date： Nov. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】マイクロミラーが空気の粘性によって駆動力を減衰されることなく、また、マイクロミラーが支持体に貼り付くことがないような振動体装置及びその作動方法を提供すること。【解決手段】ミラー4を支持する振動体5に対向する基板2の面に貫通孔8を設けて空間25と外部とを連通する。更に振動体5の振動による空間25内の圧縮空気に対しては、振動体5の動作に相関して動作するメッシュ電極14及びバタフライバルブ15を設て空間25内の圧縮空気を制御し、振動体5の貼り付きに対しては、貫通孔8から気流を空間25内へ導入し、貼り付きを防止する。

Claim (excerpt)：

振動体と、この振動体を内空間に面して支持する支持体とからなり、前記内空間を介して前記振動体に対向した前記支持体の壁部を貫通して前記内空間と外部とを連通させる貫通孔が設けられている振動体装置。

IPC (5)：

G02B 26/10 104 , G02B 26/08 , G11B 7/09 , G11B 7/135 , H02N 1/10

FI (6)：

G02B 26/10 104 A , G02B 26/08 E , G11B 7/09 E , G11B 7/135 Z , G11B 7/135 A , H02N 1/10

F-Term (24)：

2H041AA03 , 2H041AA13 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB10 , 2H045AB16 , 2H045AB18 , 2H045AB72 , 2H045DA32 , 5D118AA13 , 5D118BA01 , 5D118CA11 , 5D118DB05 , 5D118DC04 , 5D118FB02 , 5D118FB12 , 5D118FC03 , 5D119AA11 , 5D119BA01 , 5D119JA48 , 5D119JC06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-335876 Applicant：日本碍子株式会社
光スキャナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-141117 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
微細加工捩り振動子の動的特性の調整
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-542011 Applicant：クセロス・インク

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Cited by examiner (5)

表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-335876 Applicant：日本碍子株式会社
光スキャナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-141117 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
微細加工捩り振動子の動的特性の調整
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-542011 Applicant：クセロス・インク

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