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J-GLOBAL ID：200903019982405104
デザインルール作成方法、デザインルール作成システム及び記録媒体
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000199839
Publication number (International publication number)：2002026126
Application date： Jun. 30, 2000
Publication date： Jan. 25, 2002
Summary：
【要約】【課題】 多大な時間や労力を必要とせずに、最適なデザインルールを容易に得ることが可能なデザインルール作成方法を提供する。【解決手段】 規定されたデザインルールを満たすようにして半導体集積回路装置の設計レイアウトのコンパクションを行う工程と、コンパクションされた設計レイアウトに基づいて、ウエハ上におけるパターンの仕上がり形状を予測する工程と、予測された仕上がり形状とコンパクションされた設計レイアウトとを比較する工程と、比較工程によって得られた評価結果が予め与えられた基準を満たすか否かを判断する工程と、評価結果が予め与えられた基準を満たしていないと判断された場合にデザインルールを変更する工程と、変更されたデザインルールをコンパクション工程における新たなデザインルールとして規定する工程とを有する。
Claim (excerpt)：
半導体集積回路装置の設計レイアウトに対するデザインルールを決定するためのデザインルール作成方法であって、規定されたデザインルールを満たすようにして半導体集積回路装置の設計レイアウトのコンパクションを行う工程と、コンパクション工程によってコンパクションされた設計レイアウトに基づいて、半導体集積回路装置が形成されるウエハ上におけるパターンの仕上がり形状を予測する工程と、予測工程によって予測された仕上がり形状とコンパクション工程によってコンパクションされた設計レイアウトとを比較する工程と、比較工程によって得られた評価結果が予め与えられた基準を満たすか否かを判断する工程と、前記評価結果が予め与えられた基準を満たしていないと判断された場合にデザインルールを変更する工程と、変更されたデザインルールを前記コンパクション工程における新たなデザインルールとして規定する工程と、を有することを特徴とするデザインルール作成方法。
IPC (2)：
H01L 21/82
, G06F 17/50 658
G06F 17/50 658 B
, H01L 21/82 D
5B046AA08
, 5B046BA04
, 5B046JA04
, 5F064AA04
, 5F064HH09
, 5F064HH10
, 5F064HH12
, 5F064HH15
Cited by applicant (6)
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