高速原子線源

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡邉勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996278664
Publication number (International publication number)：1998106798
Application date： Sep. 30, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】照射面内での被加工物の加工速度が均一であるような高速原子線源を提供する。【解決手段】内部にプラズマを生成する放電容器12に複数の原子放出孔18を有する放出電極20が設けられ、プラズマ中のイオンを放出電極20に向けて加速し、加速されたイオンを放出電極20近傍において中性化して高速原子として原子放出孔18から放出するようにした高速原子線源において、放出電極20は、厚みが放出電極面内において所定の分布になるように形成され、これによって面内における中性化率及び/又は放出原子線量が所定の分布になるようにした。

Claim (excerpt)：

内部にプラズマを生成する放電容器に複数の原子放出孔を有する放出電極が設けられ、前記プラズマ中のイオンを放出電極に向けて加速し、加速された前記イオンを放出電極近傍において中性化して高速原子として前記原子放出孔から放出するようにした高速原子線源において、前記放出電極は、厚みが該放出電極面内において所定の分布になるように形成され、これによって面内における中性化率及び/又は放出原子線量が所定の分布になるようにしたことを特徴とする高速原子線源。

IPC (8)：

H05H 3/02 , G21K 5/04 , H01J 27/02 , H01J 37/08 , H01L 21/203 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/304 341

FI (8)：

H05H 3/02 , G21K 5/04 A , H01J 27/02 , H01J 37/08 , H01L 21/203 S , H01L 21/205 , H01L 21/304 341 D , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

高速原子線源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-248767 Applicant：株式会社荏原製作所
高速原子線源及びこれを用いた加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-086542 Applicant：株式会社荏原製作所
ビーム源及び微細加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-054056 Applicant：株式会社荏原製作所

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