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J-GLOBAL ID：200903020657716223

光学要素移動装置

Inventor：
水野 誠

About 水野 誠


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997213875
Publication number (International publication number)：1999044834
Application date： Jul. 25, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】 投影光学系の倍率、収差、歪み等の光学特性を調整するための光学要素を高精度で光軸上を駆動する光学要素移動装置を、省スペース、高クリーン度で実現する。【解決手段】 可動部に取り付けられた光学要素を固定部に対して光軸方向へ移動させる駆動手段および案内手段を有する光学要素移動装置において、可動部と固定部との間にダンパ手段を設ける。
Claim (excerpt)：
固定部と、光学要素を固定された可動部と、前記固定部に対して前記可動部を光軸方向へ移動させる駆動手段および案内手段と、前記固定部と可動部との間に配置されたダンパ手段とを有する光学要素移動装置。
IPC (4)：
G02B 7/02 ,  G02B 7/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G02B 7/02 A ,  G02B 7/00 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (10)
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Cited by examiner (10)
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