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J-GLOBAL ID：200903020724850843

薄膜形成装置

Inventor：
岡田 英生

About 岡田 英生


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (3)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003385768
Publication number (International publication number)：2005146350
Application date： Nov. 14, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：
【課題】 高精度で所望の厚みを有する薄膜を基板に形成することができる薄膜形成装置を提供する。【解決手段】 噴霧手段9によって噴霧された所定の溶液3が基板2の一表面部2Aに達すると、基板2が予め定める温度に加熱されているので、溶液に含まれる薄膜形成素材が熱分解して基板2の一表面部2Aに薄膜が形成される。膜厚情報生成手段10は、前記基板2の一表面部2Aに形成される薄膜の厚みに関する所定の情報を取得し、主制御部11は、前記膜厚情報生成手段10からの所定の情報に基づいて、噴霧手段9を制御する。基板2の一表面部2Aに形成される薄膜の厚みに関する所定の情報に基づいて、主制御部11が噴霧手段9に所定の溶液3を噴霧させるので、高精度に所望の厚みの薄膜を形成することができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
薄膜が形成されるべき加熱された基板に薄膜形成素材を含む所定の溶液を複数回噴霧して、基板の一表面部に所定の厚みを有する薄膜を形成する薄膜形成装置であって、 基板を収容する収容空間が形成される収容体と、 収容空間内に収容される基板を予め定める温度に加熱する加熱手段と、 収容空間に収容され、加熱手段によって予め定める温度に加熱される基板の一表面部に、薄膜形成素材を含む所定の溶液を噴霧する噴霧手段と、 薄膜形成素材によって基板の一表面部に形成される薄膜の厚みに関する所定の情報を生成する膜厚情報生成手段と、 膜厚情報生成手段からの所定の情報に基づいて、基板の一表面部に形成される薄膜が所定の厚みとなるように、噴霧手段に薄膜形成素材を含む所定の溶液を噴霧させる制御手段とを含むことを特徴とする薄膜形成装置。
IPC (6)：
C23C26/00 ,  B05B12/08 ,  B05C9/14 ,  C23C16/44 ,  C23C16/448 ,  C23C16/52
FI (6)：
C23C26/00 Z ,  B05B12/08 ,  B05C9/14 ,  C23C16/44 J ,  C23C16/448 ,  C23C16/52
F-Term (40)：
4F035AA03 ,  4F035BA02 ,  4F035BA22 ,  4F035BB13 ,  4F035CA02 ,  4F035CA05 ,  4F035CB13 ,  4F035CB22 ,  4F035CC04 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA08 ,  4F042AA10 ,  4F042AB00 ,  4F042BA12 ,  4F042BA19 ,  4F042BA25 ,  4F042CC07 ,  4F042DA09 ,  4F042DB18 ,  4F042DE01 ,  4F042DE09 ,  4F042DF15 ,  4K030EA01 ,  4K030HA13 ,  4K030JA01 ,  4K030JA20 ,  4K030KA24 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  4K030KA47 ,  4K044AA12 ,  4K044AB02 ,  4K044BA12 ,  4K044BB01 ,  4K044BC14 ,  4K044CA15 ,  4K044CA53 ,  4K044CA62 ,  4K044CA71
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (12)
  • 膜厚計測光学系および該光学系を備えた成膜装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-340651   Applicant：株式会社ニコン
  • 薄膜の膜厚測定方法および測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-105752   Applicant：旭硝子エンジニアリング株式会社, 旭硝子株式会社
  • 膜厚測定方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-059446   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
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