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J-GLOBAL ID:200903021458405487
液晶系偏光分析装置、該偏光分析装置の較正方法、および偏光分析測定方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (4):
武田 正彦
, 滝口 昌司
, 中里 浩一
, 川崎 仁
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003354750
Publication number (International publication number):2004271510
Application date: Oct. 15, 2003
Publication date: Sep. 30, 2004
Summary:
【課題】機械的移動部材を使用しない偏光の変調、画像形成用途における広い十分な受容角度の提供、誤差伝搬に関しての最適化を含む単純でコンパクトな設計、およびリアルタイム測定の迅速なデータ獲得のうちの1つ以上を有する偏光分析装置を提供する。【解決手段】光ビームを発する励起領域1で、入射光ビーム2を偏光方向に沿って線形偏光させる偏光子5を含む偏光状態発生器4と、分析器9と検出手段10を含む偏光状態検出器8、およびプロセッシング装置11、偏光状態発生器4 (PSG)および偏光状態検出器8(PSD)が、各々、第1および第2の液晶素子13、14を含み、PSGの各LCj素子13は、偏光方向に対して角度θjをなす異常軸および通常軸と異常軸間の位相遅れδjを有し、各液晶素子14はPSGの各LCj素子に対してPSD内で逆順に位置し、方位角θ’jはθjに等しく、位相遅れδ’jは-δjに等しくした。【選択図】図1
Claim (excerpt):
-光ビームを発出する励起領域(1)であって、入射光ビーム(2)を偏光方向(i)に沿って線形に偏光させる偏光子(5)を含む偏光状態発生器(4)を含む前記励起領域(1)、
-分析器(9)と検出手段(10)を含む偏光状態検出器(8)を含む分析領域(3)、および
-プロセッシング装置(11)を含み;
前記偏光状態発生器(4) (PSG)および偏光状態検出器(8)
(PSD)が、各々、第1および第2の液晶素子(13、14)LCj (j = 1,2)を含み、前記PSGの各LCj素子(13)において(前記PSDの各LC’j素子(14)のそれぞれにおいて)は、偏光方向(i)に対して角度θj (θ’j)をなす異常軸および通常軸と異常軸間の位相遅れδj (δ’j)を有し、前記各液晶(LC’j)素子(14)は前記PSGの各LCj素子に対して前記PSD内で逆の順序に位置し、そして、
-前記方位角θ’jはθjに等しく(j = 1、2)、前記位相遅れδ’jは-δjに等しい(j = 1、2)、(2πを法として);
ことを特徴とするサンプル分析用の偏光分析装置。
IPC (2):
FI (2):
G01N21/21 Z
, G02F1/13 505
F-Term (13):
2G059AA02
, 2G059BB12
, 2G059EE05
, 2G059FF01
, 2G059GG04
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059KK01
, 2H088EA22
, 2H088EA47
, 2H088GA02
, 2H088JA17
, 2H088MA20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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偏光変調用の光学構成部材、この光学構成部材を備えるミュラー偏光計および偏光解析装置、この偏光解析装置の較正方法ならびに偏光解析方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平10-520100
Applicant:サーントルナスィヨナルドゥラルシェルシェスィヤンティフィック
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電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-116038
Applicant:科学技術振興事業団
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光学活性化合物の非侵襲的測定
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平9-533528
Applicant:アボツト・ラボラトリーズ
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エリプソメトリー顕微鏡
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平8-528613
Applicant:カンサスステイトユニバーシティリサーチフアウンデーション
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光学的相関装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-137230
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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液晶光変調器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-048548
Applicant:株式会社島津製作所
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異方性多層薄膜構造体の評価法及び評価装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-086736
Applicant:日本電気株式会社
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