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J-GLOBAL ID:200903021482004590
散乱型近接場顕微鏡および散乱型近接場分光システム
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
坂上 正明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002265710
Publication number (International publication number):2004101424
Application date: Sep. 11, 2002
Publication date: Apr. 02, 2004
Summary:
【課題】散乱型近接場顕微鏡において、従来の技術よりも、S/N比とコントラストの向上をはかるとともに、非透過性のサンプルのサンプル測定を行う場合の後方散乱成分の集光も効率的に行えるような技術を提供する。【解決手段】エバネッセント場を散乱させるための金属または誘電体をカンチレバーに設けられた探針の最先端部付近にのみ設けるとともに、探針先端で後方散乱され、集光手段で集光される光の一部または全部がカンチレバーを透過して集光されるように、カンチレバーの一部または全部を光学的に透明な材料で構成した。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
探針構造を有するカンチレバーと、該カンチレバーを保持するためのカンチレバーホルダと、前記探針に対向する位置に配置され、サンプルの保持を行うサンプルホルダと、前記カンチレバーの撓み量を検出するための撓み量検出機構と、探針とサンプル間の距離を調整するための微動機構と、探針とサンプルを2次元平面内で相対的に移動させるスキャナと、前記撓み量検出機構からの信号を基に前記微動機構を動作させて、微小探針とサンプル間の距離の調整を行うためのサーボ回路と、サンプル表面にエバネッセント光を発生させるエバネッセント光発生手段と、サンプル表面に発生したエバネッセント光に探針を近接させた際に発生する散乱光を集光するための集光手段と、散乱光の強度を測定するための光検出部とを有し、エバネッセント光を散乱させるための金属または誘電体を探針の最先端部付近に設けたことを特徴とする散乱型近接場顕微鏡。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-254838
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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近接場光学顕微鏡装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-001026
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-143277
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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走査型近接場光学顕微鏡用探針及び走査型近接場光学顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-122196
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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感光性片持ばりを有する複合原子間力及び走査型近接視野光学顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-241212
Applicant:ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ
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走査型近視野原子間力顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-054093
Applicant:セイコー電子工業株式会社
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近接場光学顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-327725
Applicant:株式会社日立製作所
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