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J-GLOBAL ID：200903021905872977
反応炉内部の残留ハロゲン除去方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992043524
Publication number (International publication number)：1993243163
Application date： Feb. 28, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】残留ハロゲンが効率的に除去され、除去のムラがなくなる。【構成】ハロゲン元素を含む成膜用ガス又はエッチング用ガスが導入された反応炉に50°C以上に加熱された空気又は不活性ガスを通過させて残留ハロゲンを除去することを特徴とする。【効果】50°C以上に加熱された空気又は不活性ガスを反応炉内部を通過させることにより、それが反応炉の内部の隅々にまで行き渡り、その熱により反応炉の各構成部材がほぼ等しく加熱され、しかも、そのガスにより残留ハロゲンが効率的に除去され、これにより、反応炉の各構成部材に付着した残留ハロゲンはムラなく、概ね除去された。
Claim (excerpt)：
ハロゲン元素を含む成膜用ガス又はエッチング用ガスが導入された反応炉に50°C以上に加熱された空気又は不活性ガスを通過させて残留ハロゲンを除去することを特徴とする反応炉内部の残留ハロゲン除去方法。
IPC (2)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
