ガス検出装置及びガス検出方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：北村修一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007160362
Publication number (International publication number)：2007271636
Application date： Jun. 18, 2007
Publication date： Oct. 18, 2007
Summary：

【課題】本発明は、数ppmから数ppbというような低濃度の揮発性有機化合物が空気中に存在することを高感度且つ簡単に検出できるガス検出技術を提供する。【解決手段】薄膜状の支持膜が支持部材で支持されたダイアフラム構造の支持基板上に、ガス検知層としてのSnO2膜が形成されるとともに、選択燃焼層がガス検知層の表面に形成されて成り、ガス検知層を加熱するヒータ層を備えたセンサ素子と、ガス検知層の温度が低温状態から高温状態に変化するようにヒータ層を通電駆動する通電駆動手段と、高温状態に変化したときのガス検知層の電気抵抗値に基づいて揮発性有機化合物の有無を検出する検出部とを備え、通電駆動の開始後、揮発性有機化合物に対するガス検知層の検出感度が空気に対して有意に得られる所定の経過時間範囲内のガス検知層の電気抵抗値を用いて、揮発性有機化合物の検出を行うガス検出装置。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

薄膜状の支持膜の外周部又は両端部が支持部材により支持されたダイアフラム構造の支持基板上に、ガス検知層としてのSnO2膜が形成されるとともに、選択燃焼層が前記ガス検知層の表面に形成されて成り、前記ガス検知層を加熱するヒータ層を備えたセンサ素子と、前記ガス検知層の温度が低温状態から高温状態に変化するように、前記ヒータ層を通電駆動する通電駆動手段と、前記ガス検知層の温度が高温状態に変化したときの前記ガス検知層の電気抵抗値に基づいて、検出対象ガスとしての揮発性有機化合物の有無を検出する検出部とを備え、前記検出部が、前記通電駆動手段による前記ヒータ層への通電駆動の開始後、前記揮発性有機化合物に対する前記ガス検知層の検出感度が空気に対して有意に得られる所定の経過時間範囲内のガス検知層の電気抵抗値を用いて、前記揮発性有機化合物の検出を行うガス検出装置。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (2)：

G01N27/12 A , G01N27/12 B

F-Term (20)：

2G046AA18 , 2G046AA23 , 2G046AA24 , 2G046AA25 , 2G046AA26 , 2G046BA01 , 2G046BA04 , 2G046BA06 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BD03 , 2G046BD05 , 2G046BD06 , 2G046BE03 , 2G046DB05 , 2G046EB01 , 2G046FB02 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE39

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平1-316651
特開平1-316651
薄膜ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-096270 Applicant：富士電機株式会社

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