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J-GLOBAL ID：200903022708682992

耐食性部材

Inventor： 伊東 裕見子 ,  会田 比呂史
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997328449
Publication number (International publication number)：1999157916
Application date： Nov. 28, 1997
Publication date： Jun. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】従来から用いられているガラス、石英、ステンレス、アルミナ、AlNの焼結体は、塩素系プラズマに対して十分な耐食性を示さず、焼結体においては、腐食が徐々に進行して焼結体の表面から結晶粒子の脱粒が生じ、パーティクルが発生するなどの問題があった。【解決手段】BCl3 やCl2 などの塩素系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、Y、La、Ce、Nd、Dyなどの周期律表3a族金属と、Al及び/又はSiを含む複合酸化物、例えば、3Y2 O3 ・5Al2 O3 、2Y2 O3 ・Al2 O3 、Y2 O3 ・Al2 O3 、ダイシリケート、モノシリケートなどの焼結体などにより構成し、また前記部位における前記複合酸化物形成金属以外の不純物金属量が総量で0.1重量%以下に制御する。

Claim (excerpt)：

塩素系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位が、周期律表3a族金属と、Al及び/又はSiを含む複合酸化物からなることを特徴とする耐食性部材。

IPC (2)：

C04B 35/00 ,  H01L 21/3065

FI (2)：

C04B 35/00 H ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

• 耐食性部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-201563   Applicant：京セラ株式会社
• 耐食性部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-201566   Applicant：京セラ株式会社
• 耐プラズマ部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-042604   Applicant：京セラ株式会社
• 真空チャンバ用部品及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-118310   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 高圧放電ランプ用セラミック放電管及びその製造方法、並びにそれに用いられるシール材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-010457   Applicant：日本碍子株式会社, パテント-トロイハント-ゲゼルシャフト・フューア・エレクトリッシェ・グリューランペン・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
• 高圧放電ランプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-222412   Applicant：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
• 表面高純度セラミックス及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-337809   Applicant：東芝セラミックス株式会社
• 特開平4-133154
  
• 金属蒸気放電灯用発光管
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-115625   Applicant：京セラ株式会社
• 特開平3-275561