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J-GLOBAL ID:200903023051216402
カーボンナノチューブのパターン形成方法、カーボンナノチューブのパターン形成材料、電子放出源及び蛍光発光型表示器
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大塚 秀一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999210336
Publication number (International publication number):2001035362
Application date: Jul. 26, 1999
Publication date: Feb. 09, 2001
Summary:
【要約】【課題】 カーボンナノチューブの微細なパターンを形成可能にすること。【解決手段】 ガラス製絶縁基板101、カソード導体102及びカーボンナノチューブ103を積層形成した後、粘着テープ403を貼付して剥離する。このとき、絶縁基板101はカソード導体102よりもカーボンナノチューブ103との接着力が小さいため、絶縁基板101に直接被着されたカーボンナノチューブ301は粘着テープ403に被着して剥離され、カソード導体102と同一の所定パターンのエミッタ401が形成される。
Claim (excerpt):
所定の金属パターンと、前記金属パターンから露出した露出部を有しカーボンナノチューブとの被着力が前記金属よりも弱い材料とを備えた基板を形成する工程と、前記金属及び前記露出部にカーボンナノチューブを被着する工程と、前記露出部に被着したカーボンナノチューブを除去する工程とを備えて成ることを特徴とするカーボンナノチューブのパターン形成方法。
IPC (5):
H01J 9/02
, H01J 1/304
, H01J 29/04
, H01J 31/12
, C01B 31/02 101
FI (5):
H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, C01B 31/02 101 F
, H01J 1/30 F
F-Term (11):
4G046CB08
, 4G046CC05
, 5C031DD09
, 5C031DD17
, 5C036EE03
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF08
, 5C036EG02
, 5C036EG12
, 5C036EH11
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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