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J-GLOBAL ID：200903023169857968

欠陥検査方法、欠陥検査装置及びコンピュータプログラム

Inventor：
早川 誠

About 早川 誠

, 
富田 浩

About 富田 浩


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (3)： 金本 哲男 ,  亀谷 美明 ,  萩原 康司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007002440
Publication number (International publication number)：2007240519
Application date： Jan. 10, 2007
Publication date： Sep. 20, 2007
Summary：
【課題】基板を載置している載置台と撮像装置とが相対的に移動して基板の画像を取り込む際に、像の歪みがない高精度の画像を取り込んで、正確な検査を行なう。【解決手段】駆動装置127の駆動によって移動する撮像ユニット120内の撮像装置122によって、載置台112上のウェハWを撮像する。駆動装置127は第1の制御装置131からの駆動信号によって制御される。第1の制御装置131に対して出力される駆動信号は、第2の制御装置132に対しても出力され、当該駆動信号に基づいて、第2の制御装置132は撮像装置122を制御する。撮像装置122自体の移動と、撮像装置122の撮像が同期化される。【選択図】図6
Claim (excerpt)：
撮像装置と載置台上の基板とを所定方向に相対的に移動させながら、前記基板を前記撮像装置によって撮像して当該基板の欠陥を検査する方法であって、 前記基板を撮像装置によって撮像するにあたっては、相対的な移動を実現するための撮像装置又は載置台の駆動と、前記撮像装置による撮像とを同期化させることを特徴とする、欠陥検査方法。
IPC (3)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (3)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/66 J
F-Term (20)：
2F065AA49 ,  2F065CC17 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM01 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CD07 ,  2G051DA07 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (9)
  • 撮像装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-265771   Applicant：日本電気株式会社
  • マスク検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-115100   Applicant：株式会社東芝
  • パターン検査装置、欠陥検査装置およびパターン検査方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-232565   Applicant：株式会社ニコン
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