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J-GLOBAL ID:200903023293670493
位置決め装置およびこれを用いた露光装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
伊東 哲也 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998115890
Publication number (International publication number):1999243132
Application date: Apr. 13, 1998
Publication date: Sep. 07, 1999
Summary:
【要約】【課題】 簡単な構成でステージ加振力増大に伴う振動の伝達を防止し、高速かつ高精度な位置決めを可能にする。【解決手段】 移動可能なステージと、該ステージを所定方向へ移動させる第1リニアモータと、該移動手段を支持する定盤とを備えた位置決め装置において、質量体と、該質量体を支持案内するガイドと、該質量体を移動させる第2リニアモータと、該第2リニアモータを制御する制御手段とを有し、該第1リニアモータによって該ステージを移動した際に生じる該定盤に働く力を打消す力を付与する慣性力付与手段を設ける。
Claim (excerpt):
基準面を有する定盤と、移動可能なステージと、該ステージを所定方向へ移動させる第1リニアモータと、慣性力を発生させる慣性力付与手段とを備え、該慣性力付与手段は、質量体と、該質量体を支持するガイドと、該質量体を移動させる第2リニアモータと、該第2リニアモータを制御する制御手段とを含むことを特徴とする位置決め装置。
IPC (5):
H01L 21/68
, B23Q 1/30
, B23Q 11/00
, G01B 21/00
, H01L 21/027
FI (6):
H01L 21/68 K
, B23Q 1/30
, B23Q 11/00 A
, G01B 21/00 L
, H01L 21/30 520 A
, B23Q 1/14 B
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-068960
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平3-125048
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目標物移動装置、位置決め装置及び可動ステージ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-143190
Applicant:株式会社ニコン
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特開平3-107639
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特開平3-021894
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ステージ駆動機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-199220
Applicant:日本電子株式会社
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ステージ装置及びこれを有する露光装置とデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-115154
Applicant:キヤノン株式会社
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