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J-GLOBAL ID:200903023318261046
フォトスペーサ用感光性樹脂組成物、スペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005349536
Publication number (International publication number):2007156011
Application date: Dec. 02, 2005
Publication date: Jun. 21, 2007
Summary:
【課題】露光後のレジスト硬度を高めることができ、耐現像液性に優れ、ドット欠けなどの欠陥のない高品位なフォトスペーサを形成可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物及びそれを用いたスペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置の提供。【解決手段】エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤及びバインダーを少なくとも含有し、二次元状に並んだ空間光変調デバイスを用いて画像データに基づいて350nm〜420nmの範囲内にある単色光又は輝線を変調しながら相対走査することで二次元画像の形成を行う露光方式に使用されるフォトスペーサ用感光性樹脂組成物であって、前記単色光又は輝線の波長におけるODが0.05〜1.2の範囲であり、前記バインダーが架橋性基を含有することを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物及びそれを用いたスペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置。【選択図】なし
Claim (excerpt):
エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤及びバインダーを少なくとも含有し、二次元状に並んだ空間光変調デバイスを用いて画像データに基づいて350nm〜420nmの範囲内にある単色光又は輝線を変調しながら相対走査することで二次元画像の形成を行う露光方式に使用されるフォトスペーサ用感光性樹脂組成物であって、
前記単色光又は輝線の波長におけるODが0.05〜1.2の範囲であり、前記バインダーが架橋性基を含有することを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
IPC (5):
G03F 7/004
, G02B 5/20
, G03F 7/027
, G02F 1/133
, H01L 21/027
FI (5):
G03F7/004 505
, G02B5/20 101
, G03F7/027 511
, G02F1/1339 500
, H01L21/30 502R
F-Term (33):
2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA13
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC19
, 2H025BC42
, 2H025BC53
, 2H025CA00
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CC12
, 2H025FA03
, 2H025FA10
, 2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BB02
, 2H048BB08
, 2H048BB42
, 2H089MA03X
, 2H089MA04X
, 2H089NA01
, 2H089NA13
, 2H089NA14
, 2H089PA01
, 2H089PA06
, 2H089QA01
, 2H089QA02
, 2H089QA14
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
露光ヘッド及び露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-149886
Applicant:富士写真フイルム株式会社, 富士写真光機株式会社
Cited by examiner (7)
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Article cited by the Patent:
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