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J-GLOBAL ID：200903024031516112

プローブカード

Inventor：
山坂 力仁

About 山坂 力仁


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997100880
Publication number (International publication number)：1998253662
Application date： Mar. 07, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 突起状接触子と被検査体の電極とを圧接させるのみの簡単な操作で、突起状接触子と電極との接触を十分確保して信頼性の高い特性検査ができ、かつ耐摩耗性の優れたメンブレン型プローブカードを提供する。【解決手段】 本プローブカードは表面に配線パターン12を有する合成樹脂製メンブレン11と、パターン端部にウエハの電極パッドの配列に合わせ形成された複数の突起状接触子13と、パターンの保護膜14を備えている。該接触子13は基端部から先端部へ次第に細くなり、その先端に平坦面13Aをもつ四角錐台状に形成され、基体部はパッドより高硬度材料からなり、その外面は金等の導電膜で被われる。ウエハを主チャック上に載置し位置合せ後上昇させると、ウエハは突起状接触子と接触後圧接が進むと、接触子は高硬度のため平坦面の縁からパッドに剪断力が働きパッドを押広げ食込み、食込部周面はパッドのAlと密着し良好な導通が確保される。
Claim (excerpt)：
膜部材と、この膜部材の表面に形成された突起状接触子とを備え、上記突起状接触子と被検査体の電極とが電気的に接触して上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブカードにおいて、上記突起状接触子は基端部から先端部に渡って徐々に細く形成されていると共にその先端に平坦面を有し、検査時に上記平坦面の外周で上記電極にせん断力を付与することを特徴とするプローブカード。
IPC (2)：
G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (2)：
G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 特開平1-141379
  • 特開平2-163664
  • プローブカード
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-156332   Applicant：ホーヤ株式会社
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