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J-GLOBAL ID：200903024171054178

赤外線吸収体および熱型赤外線検出器

Inventor：
尾島 史一

About 尾島 史一

, 
佐藤 順

About 佐藤 順

, 
北浦 隆介

About 北浦 隆介


Applicant, Patent owner：
浜松ホトニクス株式会社

About 浜松ホトニクス株式会社


Agent (3)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006016733
Publication number (International publication number)：2007198852
Application date： Jan. 25, 2006
Publication date： Aug. 09, 2007
Summary：
【課題】基板のウェットエッチング加工が容易であり、広い波長域にわたって効率良く赤外線を吸収できる赤外線吸収体および熱型赤外線検出器を提供する。【解決手段】赤外線吸収膜2は、TiNを含む第1の層21と、Si系化合物を含む第2の層22とを備え、第2の層22側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換する。TiNは、8μmより短い波長域の赤外線に対する吸収率が高い一方、8μmより長い波長域の赤外線に対しては反射率が高い。従って、長波長域の赤外線に対する吸収率が良いSi系化合物層をTiN層上に積層すれば、TiN層において吸収率が低い波長域の赤外線をSi系化合物層において好適に吸収できると同時に、Si系化合物層を透過しようとする赤外線をTiN層の界面で反射してSi系化合物層へ戻すことができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
TiNを含む第1の層と、 Si系化合物を含み前記第1の層上に設けられた第2の層と を備え、 前記第2の層側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換することを特徴とする、赤外線吸収体。
IPC (5)：
G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  H01L 35/32 ,  B32B 9/00 ,  B32B 7/02
FI (5)：
G01J1/02 C ,  G01J1/04 A ,  H01L35/32 A ,  B32B9/00 A ,  B32B7/02 103
F-Term (13)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BB24 ,  4F100AA12A ,  4F100AA16B ,  4F100AA32B ,  4F100AB11 ,  4F100AD05B ,  4F100BA02 ,  4F100JD10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特許第2523895号公報
  • 特許第3608427号公報
Cited by examiner (4)
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