小片試料の作製とその壁面の観察方法及びそのシステム

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松下義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003034599
Publication number (International publication number)：2004245660
Application date： Feb. 13, 2003
Publication date： Sep. 02, 2004
Summary：

【課題】微細化、集積化の進んだデバイスの積層構造を確認する場合、走査電子顕微鏡観察では、分解能が不足する。透過電子顕微鏡観察では、透過電子顕微鏡観察のための試料作製をする必要があり、高いスループットを実現することができないという課題があった。【解決手段】試料表面を加工して小片試料を作製する集束イオンビーム装置と、小片試料をピックアップするピックアップ装置と、ピックアップした小片試料を固定する小片試料固定台5と、小片試料固定台5に固定された小片試料の表面をアルゴンイオンビーム7にてエッチングするアルゴンイオンビーム照射装置と、小片試料固定台に固定された小片試料の表面を観察する走査プローブ顕微鏡からなる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

集束エネルギービームを試料に照射して、所定箇所の周囲および底部をエッチングして小片試料とする第一の工程と、前記小片試料を前記試料から取り出す第二の工程と、前記取り出された小片試料の壁面を走査プローブ顕微鏡にて観察する第三の工程と、からなることを特徴とする小片試料の作製とその壁面の観察方法。

IPC (6)：

G01N1/28 , G01N1/32 , G01N13/10 , G01N13/22 , H01J37/20 , H01J37/317

FI (8)：

G01N1/28 G , G01N1/32 B , G01N13/10 A , G01N13/10 D , G01N13/22 A , H01J37/20 Z , H01J37/317 D , G01N1/28 F

F-Term (21)：

2G052AA13 , 2G052AD32 , 2G052AD52 , 2G052CA04 , 2G052CA16 , 2G052DA05 , 2G052DA33 , 2G052EC14 , 2G052EC16 , 2G052EC22 , 2G052FD04 , 2G052GA36 , 2G052HC02 , 2G052HC15 , 2G052HC34 , 2G052JA09 , 5C001AA01 , 5C001CC04 , 5C034BB06 , 5C034BB09 , 5C034DD09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

検査・解析方法および試料作製装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-169049 Applicant：株式会社日立製作所
試料作製装置および試料作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-333681 Applicant：株式会社日立製作所
薄片試料加工方法及び薄片試料の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-078967 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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