試料作製装置および試料作製方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998333681
Publication number (International publication number)：2000162102
Application date： Nov. 25, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】試料作製から観察までの作業が簡便で、試料作製が一つの装置内ででき、作製試料の分析装置への受け渡しが容易な試料作製装置を提供すること。【解決手段】少なくとも、イオンビームの照射光学系と、上記イオンビームの照射によって試料片から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、上記試料片を載置し、分析試料を固定する試料ホルダを載置するサイドエントリ型の試料ステ-ジと、上記試料片の一部を分離した摘出試料を試料ホルダに移し変える移送手段とで試料作製装置を構成する。【効果】試料作製から観察までの作業が簡便で、試料作製が一つの装置内ででき、作製試料の分析装置への受け渡しが容易になり、試料破損の可能性を減少できる。

Claim (excerpt)：

イオンビームの照射光学系と、上記イオンビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、試料片の一部を分離した摘出試料を試料ホルダに移し変える移送手段と、サイドエントリ型試料ステージを搭載して微動させる試料ステージ微動手段を少なくとも有し、さらに、上記サイドエントリ型試料ステージが上記試料片を載置する第1試料ステ-ジ、および、上記摘出試料を載置する試料ホルダを着脱できる第2試料ステ-ジであることを特徴とする試料作製装置。

IPC (3)：

G01N 1/28 , H01J 37/20 , H01J 37/31

FI (3)：

G01N 1/28 F , H01J 37/20 A , H01J 37/31

F-Term (8)：

5C001AA02 , 5C001AA05 , 5C001AA08 , 5C001BB07 , 5C001CC03 , 5C001CC04 , 5C001CC05 , 5C001CC08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

集束イオンビーム装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-247601 Applicant：株式会社日立製作所
試料の分離方法及びこの分離方法で得た分離試料の分析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-210803 Applicant：株式会社日立製作所
試料評価・処理観察システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-154750 Applicant：株式会社日立製作所

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