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J-GLOBAL ID：200903025174007797

ポジ型感光性組成物

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001188499
Publication number (International publication number)：2003005376
Application date： Jun. 21, 2001
Publication date： Jan. 08, 2003
Summary：
【要約】【課題】 感度、解像力に優れ、疎密依存性が小さいポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A1)活性光線又は放射線の照射によりスルホン酸のα位がフッ素原子で置換されたアルカンスルホン酸を発生する化合物、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩、及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解速度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(A1)活性光線又は放射線の照射によりスルホン酸のα位がフッ素原子で置換されたアルカンスルホン酸を発生する化合物、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩、及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解速度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (14)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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