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J-GLOBAL ID：200903026434273310

X線検査方法およびX線検査装置

Inventor：
益田 真之

About 益田 真之

, 
松波 剛

About 松波 剛

, 
小泉 治幸

About 小泉 治幸

, 
加藤 訓之

About 加藤 訓之


Applicant, Patent owner：
オムロン株式会社

About オムロン株式会社


Agent (6)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007063871
Publication number (International publication number)：2008224448
Application date： Mar. 13, 2007
Publication date： Sep. 25, 2008
Summary：
【課題】検査対象物の所定の検査エリアを選択的に高速に検査することができるX線検査装置を提供する。【解決手段】X線検査装置100は、X線を出力する走査型X線源10と、複数のX線センサ23が取り付けられ、回転軸21を中心に回転するセンサベース22と、センサベース22の回転角やX線センサ23からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構30等を備える。走査型X線源10は、各X線センサ23について、X線が検査対象20の所定の検査エリアを透過して各X線センサ23に対して入射するように設定されたX線の放射の起点位置の各々に、X線源のX線焦点位置を移動させてX線を放射する。画像制御取得機構30はX線センサ23が検出した画像データを取得し、演算部70はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
X線照射によって対象物を透過したX線を複数の検出面で検出する受光部を備えたX線検査装置を用いたX線検査方法であって、 前記対象物の検査部分を指定するステップと、 前記複数の検出面について、前記X線が前記検査部分を透過して各前記検出面に対して入射するように設定された前記X線の放射の起点位置の各々に、X線源のX線焦点位置を移動させて、前記X線を発生させるステップと、 各前記検出面において前記検査部分を透過した前記X線の強度分布を検出するステップと、 前記検出した強度分布のデータに基づき、前記検査部分の画像データを再構成するステップとを備える、X線検査方法。
IPC (1)：
G01N 23/04
FI (1)：
G01N23/04
F-Term (31)：
2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA10 ,  2G001BA05 ,  2G001BA11 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001FA16 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA08 ,  2G001HA14 ,  2G001JA01 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (9)
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