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J-GLOBAL ID：200903026698865134

固体撮像素子及びその製造方法

Inventor：
木村 匡雄

About 木村 匡雄


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998320885
Publication number (International publication number)：2000150845
Application date： Nov. 11, 1998
Publication date： May. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 入射光を受光部に広く入射するように導くことにより、高い感度を有する固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 センサ開口から最表面層の間に凹レンズ構造を有する層8が設けられ、凹レンズ構造の底部に井戸状の掘り込み構造21が設けられ、この井戸状の掘り込み構造21の底部に臨んでエッチングストッパ膜12が形成されて成る固体撮像素子20を構成する。
Claim (excerpt)：
センサ開口から最表面層の間に凹レンズ構造を有する層が設けられた固体撮像素子において、上記凹レンズ構造の底部に井戸状の掘り込み構造が設けられ、上記掘り込み構造の底部に臨んでエッチングストッパ膜が形成されて成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/238 ,  H04N 5/335
FI (3)：
H01L 27/14 D ,  H04N 5/238 Z ,  H04N 5/335 V
F-Term (29)：
4M118AA01 ,  4M118AA06 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA02 ,  4M118CA34 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118GA07 ,  4M118GA08 ,  4M118GA09 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD08 ,  5C022AA00 ,  5C022AB68 ,  5C022AC42 ,  5C022AC54 ,  5C022AC55 ,  5C024AA01 ,  5C024EA04 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024FA17 ,  5C024FA18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 固体撮像装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-124999   Applicant：松下電子工業株式会社
  • 固体撮像装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-300097   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 固体撮像素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-179212   Applicant：株式会社日立製作所
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