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J-GLOBAL ID：200903027053927956

X線回折光学素子

Inventor： 高野 秀和 ,  鈴木 芳生 ,  上條 長生 ,  竹内 晃久 ,  上杉 健太朗 ,  田村 繁治 ,  安本 正人
Applicant, Patent owner： 財団法人高輝度光科学研究センター ,  独立行政法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 三枝 英二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002309941
Publication number (International publication number)：2004145006
Application date： Oct. 24, 2002
Publication date： May. 20, 2004
Summary：

【課題】高強度のX線を試料に照射可能な光学システム、前記光学システムに好適な回折光学素子および前記回折光学素子を備えたX線顕微鏡を提供する。【解決手段】円形状基材にX線遮断層とX線透過層とが交互に等間隔で同心円状に積層された輪帯部分を有するX線回折光学素子、前記素子を備えた光学システムおよび前記素子を備えたX線顕微鏡。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

円形状基材にX線遮断層とX線透過層とが交互に等間隔で同心円状に積層された輪帯部分を有するX線回折光学素子。

IPC (4)：

G02B5/18 ,  G02B3/00 ,  G21K1/06 ,  G21K7/00

FI (7)：

G02B5/18 ,  G02B3/00 A ,  G02B3/00 Z ,  G21K1/06 B ,  G21K1/06 C ,  G21K1/06 M ,  G21K7/00

F-Term (7)：

2H049AA03 ,  2H049AA04 ,  2H049AA13 ,  2H049AA14 ,  2H049AA31 ,  2H049AA44 ,  2H049AA55

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭57-104904
  
• X線照明用ゾーンプレート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-226838   Applicant：株式会社ニコン
• ゾーンプレート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-328738   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• フレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-394583   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 科学技術振興事業団, 財団法人高輝度光科学研究センター
• X線顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-329043   Applicant：科学技術振興事業団