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J-GLOBAL ID:200903027179035317

ガス成分自動分析装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001204692
Publication number (International publication number):2003014713
Application date: Jul. 05, 2001
Publication date: Jan. 15, 2003
Summary:
【要約】【課題】 システム全体を大規模化することなく、測定タイミングのずれに起因する各測定ポイントの平均ガス濃度の誤差を低減し、設置場所付近の大気の汚染を防止する。【解決手段】 サンプリング部1では、吸収液流路に直列に配置された捕集部31〜3nが、各測定ポイント81〜8nのガス成分を、吸収液流路を通液する吸収液に吸収させることによって、ほぼ同時に各測定ポイントのガスを捕集する。測定対象のガス成分の平均ガス濃度は、濃縮部4によって蓄積されたガス成分の濃度から、サンプリング数、すなわち補集部の数を除算することによって得られる。排気部7は、捕集部31〜3nによって吸収液に吸収されなかった大気ガス中の残留汚染ガス成分を除去する。
Claim (excerpt):
少なくとも1つの測定対象エリア内における複数の測定ポイント毎に備えられたサンプリング管を介して近傍に集められた前記各測定ポイントのガス成分を、通液する吸収液に吸収させるための捕集部を有するサンプリング部と、前記吸収液に吸収されたガス成分を蓄積する動作を行う濃縮部と、前記濃縮部によって蓄積されたガス成分から、測定対象となっている少なくとも1つのガス成分を抽出する動作を行う分析部と、一定間隔で、前記サンプリング部と、前記濃縮部と、前記分析部とに前記各動作を実行させ、前記分析部によって抽出されたガス成分の平均ガス濃度の算出を行う制御部とを備えるガス成分自動分析装置。
IPC (3):
G01N 30/00 ,  G01N 1/22 ,  G01N 33/00
FI (3):
G01N 30/00 G ,  G01N 1/22 B ,  G01N 33/00 C
F-Term (21):
2G052AA01 ,  2G052AA03 ,  2G052AB01 ,  2G052AC13 ,  2G052AC28 ,  2G052AC30 ,  2G052AD02 ,  2G052BA14 ,  2G052CA03 ,  2G052CA04 ,  2G052CA12 ,  2G052CA35 ,  2G052ED01 ,  2G052ED07 ,  2G052ED09 ,  2G052FD09 ,  2G052FD17 ,  2G052GA27 ,  2G052HA00 ,  2G052HC04 ,  2G052HC08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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Article cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • JIS-B-9920「クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法 及び クリーンルームの空気清浄, 1989

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