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J-GLOBAL ID：200903027380825164

層間絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物および層間絶縁膜

Inventor：
花村 政暁

About 花村 政暁


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004277486
Publication number (International publication number)：2006091490
Application date： Sep. 24, 2004
Publication date： Apr. 06, 2006
Summary：
【課題】高解像度で、十分な厚膜化が可能であり、かつ透明性、耐熱性、密着性、耐溶剤性等の諸物性にも優れた層間絶縁膜を形成しうる層間絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物、当該樹脂組成物から形成された層間絶縁膜等を提供する。【解決手段】層間絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物は、(A)(a)酸性官能基を有する重合性不飽和化合物10〜50重量%、(b)脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物20〜60重量%および(c)他の重合性不飽和化合物5〜40重量%を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、(B)重合性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、並びに(D)カップリング剤を含有することを特徴とする。 層間絶縁膜は、当該層間絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物から形成される。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)(a)酸性官能基を有する重合性不飽和化合物10〜50重量%、(b)脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物20〜60重量%および(c)他の重合性不飽和化合物5〜40重量%(但し、(a)+(b)+(c)=100重量%)を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、(B)重合性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、並びに(D)カップリング剤を含有することを特徴とする層間絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/033 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F7/033 ,  G02F1/1333 505 ,  G03F7/075 501 ,  G03F7/40 521 ,  H01L21/30 502R
F-Term (26)：
2H025AA06 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC06 ,  2H025FA29 ,  2H090HB07X ,  2H090HC05 ,  2H090HC13 ,  2H090HC15 ,  2H090HD01 ,  2H090HD03 ,  2H090HD06 ,  2H090HD08 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (5)
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