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J-GLOBAL ID：200903027743456468
ダイヤモンド電極の終端化方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
西村 竜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004184246
Publication number (International publication number)：2006010359
Application date： Jun. 22, 2004
Publication date： Jan. 12, 2006
Summary：
【課題】ダイヤモンド電極42を所望の原子で精度良く終端化し、より完全な終端表面を有するダイヤモンド電極42を得る方法を提供する。【解決手段】水素終端化されているダイヤモンド電極42の表面を、希ガスをスパッタリングすることにより、当該希ガスで終端化する希ガス終端化工程と、そのダイヤモンド電極42の表面の希ガスを、目的物質で置き換えて終端化する目的物質終端化工程とを備えるようにした。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
水素終端化されているダイヤモンド電極の表面を、希ガスをスパッタリングすることにより、当該希ガスで終端化する希ガス終端化工程と、
そのダイヤモンド電極の表面の希ガスを、目的物質で置き換えて終端化する目的物質終端化工程とを備えたことを特徴とするダイヤモンド電極終端化方法。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N27/30 B
, G01N27/46 301G
, G01N27/46 336G
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (7)
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