感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996121625
Publication number (International publication number)：1997304932
Application date： May. 16, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】定在波およびハレーションの発生が大きく抑えられ、解像度、感度およびパターン形状等に優れており、高精度の微細パターンを安定して形成することができ、しかも、紫外線、遠紫外線、X線あるいは荷電子線の如き各種放射線に有効に感応して、化学増幅型ポジ型レジストとして極めて有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式(1)、(2)(R1は水素原子またはメチル基を示す、)(R2は水素原子またはメチル基、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、を示すかあるいはR3,R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい。)で示される繰返し単位からなる共重合体(A)、アルカリ可溶性フェノール樹脂(B)、感放射線性酸発生剤および酸拡散制御剤からなる感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表わされる繰返し単位と下記式(2)で表わされる繰返し単位を含む共重合体、【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基を示し、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示し、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示すかあるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい、(B)アルカリ可溶性フェノール樹脂、(C)感放射線性酸発生剤および(D)酸拡散制御剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/039 501 , C08L 25/16 LEA , C08L 61/04 LMY , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 506 , H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 501 , C08L 25/16 LEA , C08L 61/04 LMY , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 506 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

微細パターン形成材料及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-246324 Applicant：和光純薬工業株式会社, 松下電器産業株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-054398 Applicant：株式会社東芝
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-245299 Applicant：株式会社東芝

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