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J-GLOBAL ID：200903031180820521

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
山近 幹雄

About 山近 幹雄

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大田 利幸

About 大田 利幸

, 
辻 昭

About 辻 昭


Applicant, Patent owner：
日本合成ゴム株式会社

About 日本合成ゴム株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994259755
Publication number (International publication number)：1996101506
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】 特に解像度およびパターン形状が優れるとともに、感度、現像性、プロセス安定性等にも優れ、しかもコントラスト、耐熱性等も良好な化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物[I] 、[II]および[III] を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物[I] は、1-メトキシエチルアクリレートで代表されるアセタール基含有(メタ)アクリル酸エステルの重合体(A)および感放射線性酸発生剤(B)を含有し、感放射線性樹脂組成物[II]は、前記成分(A)および(B)とアルカリ可溶性樹脂(C)とを含有する。また、感放射線性樹脂組成物[III] は、2-テトラヒドロピラニルアクリレートで代表されるアセタール基含有(メタ)アクリル酸エステルの重合体(A')、前記成分(B)および(C)並びに酸拡散制御剤(D)を含有する。
Claim (excerpt)：
下記一般式(1)で表される繰返し単位を有する重合体(A)および感放射線性酸発生剤(B)を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、A は2価の酸素原子または2価の硫黄原子を示し、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2、R3、R4、R5およびR6は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基、アルコキシル基、アルキルチオ基、アリール基、アリールオキシ基またはアラルキル基を示す。〕
IPC (5)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (28)
  • 特開平3-192173
  • 特開平4-215661
  • シュート・アンド・ラン印刷材料
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-297897   Applicant：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー
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