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J-GLOBAL ID：200903029019187113

ペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液

Inventor：
牧 一誠

About 牧 一誠

, 
曽山 信幸

About 曽山 信幸

, 
松浦 正弥

About 松浦 正弥

, 
影山 謙介

About 影山 謙介


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999159808
Publication number (International publication number)：2000351623
Application date： Jun. 07, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：
【要約】【課題】 エチレングリコール誘導体を使用しないペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液を用いて、表面形態が均一で電気的特性の均質性にも優れたペロブスカイト型酸化物薄膜を形成する。【解決手段】 Ti及び/又はZrを含有するペロブスカイト型酸化物薄膜を成膜するための原料溶液であって、各成分金属又は2以上の成分金属を含む金属化合物、その部分加水分解物又はその部分重縮合物を有機溶媒中に含有する溶液からなる原料溶液において、該溶液中に1-ブタノール、2-ブタノール、2-メチル-1-プロパノール及び2-メチル-2-プロパノールよりなる群から選ばれる1種又は2種以上のブタノール溶媒を含有するペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液。
Claim (excerpt)：
Ti及び/又はZrを含有するペロブスカイト型酸化物薄膜を成膜するための原料溶液であって、各成分金属又は2以上の成分金属を含む金属化合物、その部分加水分解物並びにその部分重縮合物よりなる群から選ばれる1種又は2種以上の金属化合物を有機溶媒中に含有する溶液からなる原料溶液において、該溶液中に1-ブタノール、2-ブタノール、2-メチル-1-プロパノール及び2-メチル-2-プロパノールよりなる群から選ばれる1種又は2種以上のブタノール溶媒を含有することを特徴とするペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液。
IPC (2)：
C01G 25/00 ,  C01G 23/00
FI (2)：
C01G 25/00 ,  C01G 23/00 C
F-Term (14)：
4G047CA02 ,  4G047CA08 ,  4G047CA10 ,  4G047CB05 ,  4G047CC02 ,  4G047CD02 ,  4G047CD08 ,  4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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