Pat
J-GLOBAL ID：200903029034834540

観察試料作成方法及びその装置

Inventor：
斉藤 啓谷

About 斉藤 啓谷

, 
山口 博司

About 山口 博司

, 
伊藤 文和

About 伊藤 文和

, 
東 淳三

About 東 淳三


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995131840
Publication number (International publication number)：1996329876
Application date： May. 30, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 TEMにおいてガス供給系を設け、電子ビームアシストエッチングによりTEM用試料を作成する。【構成】 電子源1より電子ビームを引出し、第一、第二コンデンサレンズ4、5で収束して試料40に照射し、ガスボンベ38、39より反応性ガスをノズル30、31を介して試料に吹き付け、電子ビームを走査して、電子ビームのエネルギーで反応性ガスと試料との化学反応を誘起し、局所的エッチングによって加工する。加工後反応性ガスを排気し、試料のTEM像による観察をする。微細な電子ビームにより高精度で損傷のない最適な厚さのTEM用試料が作成できる。
Claim (excerpt)：
試料の二次電子像により位置決めし、反応性ガス雰囲気中で前記試料に電子ビームを照射し、前記電子ビームの照射部で局所的に反応性エッチングを施し当該試料を所定厚さに加工し、前記加工後に前記反応性ガスを排気し、透過電子顕微鏡観察することを特徴とする観察試料作成方法。
IPC (7)：
H01J 37/305 ,  C23F 4/02 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/244
FI (7)：
H01J 37/305 A ,  C23F 4/02 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/147 E ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/244 ,  G01N 1/28 F
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (15)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM