感放射線性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995013102
Publication number (International publication number)：1996202039
Application date： Jan. 30, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】特に解像度及びパターン形状が優れるとともに、感度及び現像性にも優れ、しかもコントラスト、耐熱性等も良好な化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】下記式(1)【化1】(ここで、R1は置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基又はアルコキシカルボニル基を示し、R2は-OR3又はNR4R5を示す(但し、R3、R4及びR5は同一又は異なり水素原子、直鎖アルキル基、環状アルキル基、アラルキル基、アリール基、置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基又はアルコキシカルボニル基を示す)。で表される繰り返し単位を有する重合体(A)と少なくとも一つ以上のイミドスルホネート誘導体から選ばれる感放射線性酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射線性樹脂化合物を含有する感放射線性組成物。

Claim (excerpt)：

(イ)下記式(I)【化1】(ここで、R1は置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基又はアルコキシカルボニル基を示し、R2は-OR3又はNR4R5を示す(但し、R3、R4及びR5は同一又は異なり、水素原子、直鎖アルキル基、環状アルキル基、アラルキル基、アリール基、置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基又はアルコキシカルボニル基を示す)。で表される繰り返し単位を有する重合体と(ロ)少なくとも一つ以上のイミドスルホネート誘導体から選ばれる感放射線性酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

化学増幅型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-096173 Applicant：協和醗酵工業株式会社
感放射線性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-216052 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-340980 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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