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J-GLOBAL ID：200903030117837299

積層構造およびその製造方法、表示素子、ならびに表示装置

Inventor：
横山 誠一

About 横山 誠一


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003151156
Publication number (International publication number)：2004355918
Application date： May. 28, 2003
Publication date： Dec. 16, 2004
Summary：
【課題】絶縁膜の成膜不良あるいは空孔などを防止して欠陥を低減することができる積層構造およびその製造方法、ならびに表示装置を提供する。【解決手段】基板11の平坦面11Aに、有機発光素子10R,10G,10Bの陽極としての積層構造14が設けられている。積層構造14は、基板11の側から、ITOよりなる密着層14B、銀または銀を含む合金よりなる反射層14AおよびITOよりなるバリア層14Cがこの順に積層され、その積層方向の断面は順テーパ状となっている。密着層14B,反射層14Aおよびバリア層14Cのなす側壁面14Eは、絶縁膜15により完全に覆われ、絶縁膜15の成膜不良あるいは空孔が防止される。側壁面14Eと平坦面11Aとのなすテーパ角θは、10°以上70°以下であることが好ましい。積層構造14は、液晶ディスプレイの反射電極、反射膜あるいは配線としても使用可能である。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
平坦面を有する基板の表面に設けられ、複数の層が積層されてなると共に積層方向の断面形状が順テーパ状である ことを特徴とする積層構造。
IPC (6)：
H05B33/26 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/768 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (6)：
H05B33/26 Z ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H01L21/90 A
F-Term (68)：
2H092GA17 ,  2H092GA25 ,  2H092HA05 ,  2H092JA24 ,  2H092JA40 ,  2H092JA44 ,  2H092JB07 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092MA14 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092NA16 ,  2H092NA27 ,  2H092PA02 ,  2H092PA08 ,  3K007AB03 ,  3K007AB11 ,  3K007CC00 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP06 ,  5F033PP11 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033PP31 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ21 ,  5F033QQ34 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ98 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR14 ,  5F033RR22 ,  5F033SS10 ,  5F033SS11 ,  5F033SS22 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033WW10 ,  5F033XX00 ,  5F033XX01 ,  5F033XX03 ,  5F033XX14 ,  5F033XX16 ,  5F033XX20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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