樹脂組成物及び樹脂組成物製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石島茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001125585
Publication number (International publication number)：2002323766
Application date： Apr. 24, 2001
Publication date： Nov. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】感光性の樹脂組成物を用いて精密にパターニングされた樹脂膜を得る。【解決手段】本発明の樹脂組成物に含まれるポリイミド前駆体は、下記式(1)に示される重合構造単位を有しており、式(1)中の化学構造A2は脂環式化合物有し、ベンゼン環など芳香族化合物を有しないため、広い波長領域で透光性に優れている。また、該ポリイミド前駆体は7.5%以上36%以下イミド化されているので、現像液に対する溶解性が低く、未露光部分が現像液に溶解しない。従って、本発明の樹脂組成物を用いれば、精密なパターンを有する樹脂膜を露光、現像によって形成することができる。【化55】

Claim (excerpt)：

下記式(1)に示される重合構造単位を有し、イミド化されたポリイミド前駆体と、感光剤とを有する樹脂組成物であって、前記ポリイミド前駆体のイミド化率が7.5%以上36%以下である樹脂組成物。【化1】(上記式(1)中のA1で示される化学構造は芳香族化合物を含み、A2で示される化学構造は脂環式化合物を含む。)

IPC (8)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/00 , C08L 79/08 , G03F 7/022 601 , H01L 21/027 , C09D 5/00 , C09D179/08

FI (8)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/00 , C08L 79/08 A , G03F 7/022 601 , C09D 5/00 Z , C09D179/08 B , H01L 21/30 502 R

F-Term (49)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002EQ036 , 4J002EV236 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J002GQ05 , 4J038DJ031 , 4J038JB15 , 4J038KA03 , 4J038LA02 , 4J038MA12 , 4J038NA18 , 4J038PA17 , 4J038PB09 , 4J038PB11 , 4J038PC02 , 4J038PC03 , 4J038PC08 , 4J043PA19 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043RA05 , 4J043RA34 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043UA041 , 4J043UA132 , 4J043UA531 , 4J043UA681 , 4J043UB011 , 4J043UB402 , 4J043VA011 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA06 , 4J043ZB50

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-095934 Applicant：チッソ株式会社
ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-038473 Applicant：東レ株式会社
ポジ型感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物及びこれを用いたレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-139626 Applicant：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

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