ポジ型感光性組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999038473
Publication number (International publication number)：2000241974
Application date： Feb. 17, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】現像時間が制御でき、基板との接着性を高めることができるポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】アルカリ水溶液により溶解するポリアミド酸、ポリヒドロキシアミド、レボラックなどのポリマー(a)と活性化学線の照射により酸を発生する化合物(b)と、ジフェニルスルホン、ベンゼンスルホンアミドなどのスルホン基を有した化合物(c)よりなることを特徴とするポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ水溶液により溶解するポリマー(a)と活性化学線の照射により酸を発生する化合物(b)と、スルホン基を有した化合物(c)よりなることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (14)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 61/14 , C08L 79/04 , C08L 79/08 , C08L101/14 , C09D161/14 , C09D179/04 , C09D179/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/032 , H01L 21/027

FI (14)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 61/14 , C08L 79/04 Z , C08L 79/08 A , C08L101/14 , C09D161/14 , C09D179/04 , C09D179/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/032 , H01L 21/30 502 R

F-Term (40)：

2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB29 , 2H025CB42 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 4J002AA001 , 4J002BC121 , 4J002BG011 , 4J002CC051 , 4J002CM021 , 4J002CM041 , 4J002EB006 , 4J002EV217 , 4J002EV246 , 4J002EV287 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J002GQ05 , 4J038CC091 , 4J038CG031 , 4J038DA061 , 4J038DH001 , 4J038DJ031 , 4J038JC13 , 4J038NA18 , 4J038PB09 , 4J038PC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-312671 Applicant：日本ゼオン株式会社
ドライ現像用感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-270750 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感度安定化ポジ作用性フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-112062 Applicant：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー

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