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J-GLOBAL ID：200903031114041716

XYステージ装置

Inventor：
渡辺 一生

About 渡辺 一生

, 
鈴木 謙作

About 鈴木 謙作


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (6)： 曾我 道照 ,  曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順 ,  中村 礼
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004183918
Publication number (International publication number)：2006012911
Application date： Jun. 22, 2004
Publication date： Jan. 12, 2006
Summary：
【課題】大面積基板に対応する大きさを有すると共に、陸送可能な定盤片に分割できる定盤を有することにより、容易に陸送でき、輸送コストを安価に抑えることができるXYステージ装置を提供する。【解決手段】所定の長さ、幅及び厚さを有し、平坦な上面を有する定盤100と、前記定盤100の上面上でアクチュエータ200によって移動可能に構成される可動ステージ20とを備えるXYステージ装置において、前記定盤100は、幅方向に対して分割された定盤片101aの接合体であると共に、前記アクチュエータ200は、前記可動ステージ20の移動時に前記定盤片101a同士の接合部を跨がないように配設される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
所定の長さ、幅及び厚さを有し、平坦な上面を有する定盤と、前記定盤の上面上でアクチュエータによって移動可能に構成される可動ステージとを備えるXYステージ装置において、 前記定盤は、幅方向に対して分割された定盤片の接合体であると共に、前記アクチュエータは、前記可動ステージの移動時に前記定盤片同士の接合部を跨がないように配設されることを特徴とするXYステージ装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (3)：
H01L21/30 503A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 K
F-Term (14)：
2H097BA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031LA01 ,  5F031LA03 ,  5F031MA27 ,  5F031PA18 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC19
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)

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