硫酸リサイクル型洗浄システムおよび硫酸リサイクル型過硫酸供給装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：横井幸喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005232825
Publication number (International publication number)：2006114880
Application date： Aug. 11, 2005
Publication date： Apr. 27, 2006
Summary：

【課題】過硫酸を用いた洗浄システムにおいて、過硫酸濃度を十分に高くして洗浄効果を高めるとともに、洗浄の継続が可能な洗浄システムを得る。洗浄装置に過硫酸を供給する供給装置を提供する。【解決手段】電解反応により、溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応槽10と、洗浄槽1と電解反応槽10との間で、過硫酸溶液を循環させる循環ライン4、5、6を備える。該構成により供給装置が得られる。該構成と、過硫酸溶液2を洗浄液として被洗浄材30を洗浄する洗浄槽1とにより洗浄システムが構築される。硫酸溶液を繰り返し利用して過硫酸溶液を電解反応装置によってオンサイトで再生して洗浄に使用できる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置と、電解反応により、溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応装置と、前記洗浄装置と電解反応装置との間で、前記過硫酸溶液を循環させる循環ラインとを備えることを特徴とする硫酸リサイクル型洗浄システム。

IPC (3)：

H01L 21/304 , C25B 1/28 , C25B 11/12

FI (4)：

H01L21/304 648K , H01L21/304 647Z , C25B1/28 , C25B11/12

F-Term (15)：

4K011AA03 , 4K011AA10 , 4K011AA16 , 4K011CA04 , 4K011DA11 , 4K021AB15 , 4K021BA04 , 4K021BB01 , 4K021BC03 , 4K021BC05 , 4K021BC07 , 4K021BC09 , 4K021DA09 , 4K021DA11 , 4K021DA13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

過硫酸溶解水の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-374304 Applicant：ペルメレック電極株式会社
ダイアモンドを被覆した電極を使用してペルオクソ二硫酸を電気化学的に製造する方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-528231 Applicant：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツルフェルデルングデルアンゲヴァンテンフォルシュングエーファウ, セエスエエムサントルスイスデレクトロニクエドミクロテクニクソシエテアノニム

Cited by examiner (5)

電解活性水処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-056108 Applicant：日本電気株式会社
特開平2-159029
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-374304 Applicant：ペルメレック電極株式会社

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