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J-GLOBAL ID：200903031517634822

結晶化金属酸化物薄膜を備えた蛍光体

Inventor：
土屋 哲男

About 土屋 哲男

, 
中島 智彦

About 中島 智彦

, 
渡邊 昭雄

About 渡邊 昭雄

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熊谷 俊弥

About 熊谷 俊弥


Applicant, Patent owner：
独立行政法人産業技術総合研究所

About 独立行政法人産業技術総合研究所


Agent (1)： 小越 勇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008328292
Publication number (International publication number)：2009132932
Application date： Dec. 24, 2008
Publication date： Jun. 18, 2009
Summary：
【課題】ガラスやシリコン基板上に結晶化したY2O3を含む薄膜形成を可能にし、性能が高い蛍光体薄膜材料の製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に形成されたY、Dy, Sm, Gd, Ho, Eu, Tm, Tb, Er, Ce Pr, Yb, La, Nd, Luからなる群れより選ばれる少なくとも一種類の希土類金属元素を含む有機金属薄膜または金属酸化物膜を、250〜600°Cの温度に保持し、波長200nm以下の紫外光を照射しつつ、結晶化を行うことを特徴とする結晶化金属酸化物薄膜の製造方法。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
基板上に形成された Y、Dy, Sm, Gd, Ho, Eu, Tm, Tb, Er, Ce Pr, Yb, La, Nd, Luからなる群れより選ばれる少なくとも一種類の希土類金属元素を含む有機金属薄膜または金属酸化物膜を、25〜600°Cの温度に保持し、波長200nm以下の紫外光を照射しつつ、結晶化を行うことを特徴とする結晶化金属酸化物薄膜の製造方法。
IPC (6)：
C09K 11/00 ,  C01F 17/00 ,  C09K 11/08 ,  C09K 11/78 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/108
FI (5)：
C09K11/00 A ,  C01F17/00 B ,  C09K11/08 A ,  C09K11/78 ,  H01L27/10 651
F-Term (32)：
4G076AA02 ,  4G076AA24 ,  4G076AB11 ,  4G076BA11 ,  4G076BA42 ,  4G076BA50 ,  4G076BC08 ,  4G076BD02 ,  4G076BG04 ,  4G076CA10 ,  4G076DA30 ,  4H001CA04 ,  4H001CA06 ,  4H001XA08 ,  4H001XA39 ,  4H001XA58 ,  4H001XA59 ,  4H001XA60 ,  4H001XA62 ,  4H001XA63 ,  4H001XA64 ,  4H001XA65 ,  4H001XA66 ,  4H001XA67 ,  4H001XA68 ,  4H001XA69 ,  4H001XA70 ,  4H001XA71 ,  4H001YA63 ,  5F083AD11 ,  5F083GA09 ,  5F083JA02
Patent cited by the Patent：
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)

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