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J-GLOBAL ID：200903031623364982

磁気ヘッド及びその製造方法

Inventor：
木村 久志

About 木村 久志

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芳田 伸雄

About 芳田 伸雄

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布川 功

About 布川 功

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江藤 公俊

About 江藤 公俊


Applicant, Patent owner：
ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ

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Agent (2)： 平木 祐輔 ,  渡辺 敏章
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004020419
Publication number (International publication number)：2005216361
Application date： Jan. 28, 2004
Publication date： Aug. 11, 2005
Summary：
【課題】 主磁極のトラック規定部の丸みを低減し、トラック幅精度に優れた薄膜磁気記録ヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】 主磁極のエッチングを次の3工程によって行う。(1)オンビームの入射角を50°±20°の範囲とし、イオンビームの向きを、媒体から媒体対向面となる向きを基準として、水平に±(30〜150)°の範囲内で振動させながらイオンビームを入射するエッチング工程、(2)イオンビームの入射角を60°±20°の範囲とし、イオンビームの向きを、媒体から媒体対向面となる向きから+90°〜+135°の範囲の所定の角度を中心として、水平に±45°の範囲内の所定の角度範囲で振動させながら、イオンビームを入射するエッチング工程、(3)イオンビームの入射角を60°±20°の範囲とし、イオンビームの向きを、媒体から媒体対向面となる向きから-90°〜-135°の範囲の所定の角度を中心として、水平に±45°の範囲内の所定の角度範囲で振動させながら、イオンビームを入射するエッチング工程。【選択図】 図10
Claim (excerpt)：
基板上に、主磁極と、前記主磁極に磁気的に接続された副磁極とを備えた磁気ヘッドにおいて、 前記主磁極は、媒体対向面から略垂直に延びる柱状のトラック規定部と、前記トラック規定部に接続され媒体対向面から離れるに従って媒体対向面に平行な断面の面積が次第に大きくなる磁束導入部とを有し、 前記主磁極の媒体対向面における形状は、前記基板に近い側の辺(下辺)の長さが前記基板から遠い側の辺(上辺)の長さより短く、 媒体対向面において前記トラック規定部の前記上辺と当該上辺に隣接する側辺とがなす内角をαとし、前記トラック規定部との接続部に近い位置で媒体対向面に平行にとった前記磁束導入部の断面において上辺と当該上辺に隣接する側辺とがなす内角をγとするとき、γ>αであることを特徴とする磁気ヘッド。
IPC (1)：
G11B5/31
FI (2)：
G11B5/31 D ,  G11B5/31 C
F-Term (5)：
5D033AA05 ,  5D033BA08 ,  5D033BA12 ,  5D033DA08 ,  5D033DA31
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (6)
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