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J-GLOBAL ID：200903032907916833

スピンコート装置、光記録媒体の製造方法および光記録媒体

Inventor：
秋山 昭次

About 秋山 昭次

, 
渡辺 英俊

About 渡辺 英俊


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (2)： 杉浦 正知 ,  森 幸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003077704
Publication number (International publication number)：2004288270
Application date： Mar. 20, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：
【課題】基板外周部に盛り上がりが形成されることを防止できる光記録媒体のカバー層等の形成に適用できるスピンコート装置を提供する。【解決手段】スピントレー2に基板1を埋め込む第1の凹部を設け、さらに第1の凹部の縁に沿って、第2の凹部であるレジン溜まり2aを設ける。逃げ孔2bにより、レジン溜まり2aとスピントレー2の外部とが通じている。基板1を第1の凹部に埋め込み、UVレジンを基板1の中央部に滴下する。この状態でUVレジンを回転延伸させる。UVレジンは、基板1よりも外側まで延伸され、表面張力による盛り上がりは、スピントレー2の端面に発生する。嵌合部7の隙間から流れたUVレジンは、レジン溜まり2aに溜まり、逃げ孔2bから、スピントレー2の外部に排出される。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
基板のコーティング面にコーティング材料を塗布し、塗布したコーティング材料を回転延伸することで全面に膜を形成するスピンコート装置において、 上記基板の外周の厚みとほぼ同じ深さの上記基板を埋め込む第1の凹部が形成され、 上記第1の凹部の縁に沿ってさらに第2の凹部が形成され、 上記第1の凹部に埋め込んだ上記基板を回転させる回転手段とを有するスピントレーを備えることを特徴とするスピンコート装置。
IPC (3)：
G11B7/26 ,  B05C11/08 ,  B05D1/40
FI (3)：
G11B7/26 531 ,  B05C11/08 ,  B05D1/40 A
F-Term (25)：
4D075AC64 ,  4D075AC78 ,  4D075AC93 ,  4D075CA02 ,  4D075CA09 ,  4D075CA48 ,  4D075DA08 ,  4D075DB36 ,  4D075DB48 ,  4D075DC27 ,  4D075EA07 ,  4D075EA21 ,  4F042AA02 ,  4F042AA08 ,  4F042AB00 ,  4F042EB05 ,  4F042EB09 ,  4F042EB13 ,  4F042EB17 ,  4F042EB21 ,  4F042EB28 ,  5D121AA03 ,  5D121AA04 ,  5D121EE22 ,  5D121EE24
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (9)
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