Pat
J-GLOBAL ID:200903032907916833
スピンコート装置、光記録媒体の製造方法および光記録媒体
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
杉浦 正知
, 森 幸一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003077704
Publication number (International publication number):2004288270
Application date: Mar. 20, 2003
Publication date: Oct. 14, 2004
Summary:
【課題】基板外周部に盛り上がりが形成されることを防止できる光記録媒体のカバー層等の形成に適用できるスピンコート装置を提供する。【解決手段】スピントレー2に基板1を埋め込む第1の凹部を設け、さらに第1の凹部の縁に沿って、第2の凹部であるレジン溜まり2aを設ける。逃げ孔2bにより、レジン溜まり2aとスピントレー2の外部とが通じている。基板1を第1の凹部に埋め込み、UVレジンを基板1の中央部に滴下する。この状態でUVレジンを回転延伸させる。UVレジンは、基板1よりも外側まで延伸され、表面張力による盛り上がりは、スピントレー2の端面に発生する。嵌合部7の隙間から流れたUVレジンは、レジン溜まり2aに溜まり、逃げ孔2bから、スピントレー2の外部に排出される。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
基板のコーティング面にコーティング材料を塗布し、塗布したコーティング材料を回転延伸することで全面に膜を形成するスピンコート装置において、
上記基板の外周の厚みとほぼ同じ深さの上記基板を埋め込む第1の凹部が形成され、
上記第1の凹部の縁に沿ってさらに第2の凹部が形成され、
上記第1の凹部に埋め込んだ上記基板を回転させる回転手段とを有するスピントレーを備えることを特徴とするスピンコート装置。
IPC (3):
G11B7/26
, B05C11/08
, B05D1/40
FI (3):
G11B7/26 531
, B05C11/08
, B05D1/40 A
F-Term (25):
4D075AC64
, 4D075AC78
, 4D075AC93
, 4D075CA02
, 4D075CA09
, 4D075CA48
, 4D075DA08
, 4D075DB36
, 4D075DB48
, 4D075DC27
, 4D075EA07
, 4D075EA21
, 4F042AA02
, 4F042AA08
, 4F042AB00
, 4F042EB05
, 4F042EB09
, 4F042EB13
, 4F042EB17
, 4F042EB21
, 4F042EB28
, 5D121AA03
, 5D121AA04
, 5D121EE22
, 5D121EE24
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
-
スピンナーヘツド
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-293919
Applicant:株式会社ニコン
-
光ディスク及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-003485
Applicant:ソニー株式会社
-
光ディスク製造方法及びその方法により製造された光ディスク
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-234853
Applicant:ソニー株式会社
-
光記録媒体の製造装置及び製造方法、並びに光記録媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-129005
Applicant:ソニー株式会社
-
光記録媒体及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-264404
Applicant:ティーディーケイ株式会社
-
塗布方法、および樹脂層形成法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-399934
Applicant:松下電器産業株式会社
-
記録媒体の製造方法、記録媒体製造具および記録媒体製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-143737
Applicant:シャープ株式会社
-
特開平4-144121
-
光ディスク原盤の製造装置及びその方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-280304
Applicant:パイオニア株式会社
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Cited by examiner (9)
-
スピンナーヘツド
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-293919
Applicant:株式会社ニコン
-
光ディスク及びその製造方法
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Applicant:ソニー株式会社
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-
特開平4-144121
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